Fotoelektrický profilovač DRK8090

Tento přístroj využívá bezkontaktní interferometrickou metodu měření s optickým fázovým posunem, během měření nepoškozuje povrch obrobku, může rychle měřit trojrozměrnou grafiku povrchové mikrotopografie různých obrobků a analyzovat a vypočítat měření. výsledky.

Popis produktu
Vlastnosti: Vhodné pro měření drsnosti povrchu různých měrek a optických dílů; hloubka nitkového kříže pravítka a číselníku; tloušťka povlaku struktury drážky mřížky a morfologie struktury hranice povlaku; povrch magnetického (optického) disku a magnetické hlavy Měření struktury; měření drsnosti povrchu křemíkové desky a struktury vzoru atd.
Vzhledem k vysoké přesnosti měření má přístroj vlastnosti bezkontaktního a trojrozměrného měření a využívá počítačové řízení a rychlou analýzu a výpočet výsledků měření. Tento přístroj je vhodný pro všechny úrovně testovacích a měřicích výzkumných jednotek, průmyslových a důlních podniků, dílen na přesné zpracování a je vhodný také pro instituce vyššího vzdělávání a vědeckovýzkumné instituce atd.
Hlavní technické parametry
Rozsah měření hloubky mikroskopických nerovností povrchu
Na souvislém povrchu, kdy nedochází k žádné náhlé změně výšky větší než 1/4 vlnové délky mezi dvěma sousedními pixely: 1000-1nm
Když je mezi dvěma sousedními pixely výšková mutace větší než 1/4 vlnové délky: 130-1nm
Opakovatelnost měření: δRa ≤0,5nm
Zvětšení objektivu: 40X
Numerická clona: Φ 65
Pracovní vzdálenost: 0,5 mm
Zorné pole přístroje Vizuální: Φ0,25 mm
Fotografie: 0,13×0,13 mm
Zvětšení přístroje Vizuální: 500×
Fotografie (sledovaná obrazovkou počítače)-2500×
Měřicí pole přijímače: 1000X1000
Velikost pixelu: 5,2 × 5,2 µm
Doba měření doba vzorkování (skenování): 1S
Standardní zrcadlová odrazivost přístroje (vysoká): ～50 %
Odrazivost (nízká): ～4 %
Světelný zdroj: žárovka 6V 5W
Vlnová délka zeleného interferenčního filtru: λ≒530nm
Poloviční šířka λ≒10nm
Zdvih hlavního mikroskopu: 110 mm
Zdvih stolu: 5 mm
Rozsah pohybu ve směru X a Y: ～10 mm
Rozsah otáčení pracovního stolu: 360°
Rozsah naklonění pracovního stolu: ±6°
Počítačový systém: P4, 2,8G nebo více, 17palcový plochý displej s pamětí 1G nebo více